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在掃描電鏡的設(shè)計中，電鏡的燈絲就好比汽車的發(fā)動機，汽車發(fā)動機的類型決定著汽車的排量，扭矩，加速時間等，同樣，掃描電鏡所用的燈絲也決定著電鏡圖片的分辨率，成像襯度及信噪比。選定了汽車的發(fā)動機就需要選擇與之相匹配的底盤，車架，變速器。而對掃描電鏡來說，選定了掃描電鏡所使用的燈絲，就需要選擇與之相匹配的真空系統(tǒng)，電子光學(xué)系統(tǒng)及成像系統(tǒng)。

飛納臺式掃描電鏡是臺式 SEM 中*選用六硼化鈰 (CeB6) 燈絲的電鏡，其他品牌如日立，日本電子，韓國酷賽目，韓國賽科等均選用普通的鎢燈絲。六硼化鈰燈絲類似于透射電鏡中常用的六硼化鑭燈絲，其亮度為鎢燈絲的 10 倍，電子源尺寸更小，單色性更強，有利于在樣品上形成更小更亮的電子束斑，得到的電鏡圖片分辨率更高，信噪比更強。

下圖為兩類不同的燈絲外觀圖像：

這三種燈絲的性能對比如下：

依次對比上表所列特性：

01.電子源大小
電子源大小為電子槍發(fā)射出電子后經(jīng)韋氏帽匯聚后所形成的電子束斑，六硼化鑭和六硼化鈰燈絲明顯小于鎢燈絲，更有利于經(jīng)過聚光鏡和物鏡匯聚后形成更小的電子束斑，從而得到更好的分辨率；

02.亮度
亮度為燈絲單位面積內(nèi)的電子流強度，亮度越高，越有利于得到更充足的信號，提高圖片的信噪比和清晰度。六硼化鑭和六硼化鈰燈絲的亮度為鎢燈絲的10 倍，因此可以得到信噪比更好的圖片；

03.能量寬幅
能量寬幅代表燈絲發(fā)射出的電子的單色性，能量寬幅越小代表燈絲發(fā)射出的電子單色性越好，能量也越集中，能量集中有助于減小透鏡色差，形成更小的束斑從而提高分辨率，六硼化鑭和六硼化鈰燈絲發(fā)射的電子單色性更高，分辨率更高；

下圖為使用六硼化鈰 (CeB6) 燈絲的飛納臺式掃描電鏡與使用普通鎢燈絲臺式電鏡同一樣品的效果對比可知，六硼化鈰燈絲臺式電鏡的分辨率更高，信噪比更強。

04.陰極溫度
陰極溫度也就是燈絲的工作溫度，工作溫度越低，燈絲的揮發(fā)也就越慢，壽命也會越長，六硼化鑭和六硼化鈰燈絲的工作溫度遠低于鎢燈絲，因此它們的壽命比鎢燈絲長很多。下圖為六硼化鈰和六硼化鑭隨溫度變化的揮發(fā)速率對比，可見在 1800℃ 的工作溫度下，六硼化鈰揮發(fā)速度比六硼化鑭更慢，其壽命更長 (>1500h)，而六硼化鑭只有 1000h 的壽命。

05.使用壓力
使用壓力即為燈絲正常工作需要的真空度，六硼化鑭和六硼化鈰燈絲需要的真空度 (10-5Pa) 比鎢燈絲 (10-3Pa) 更高，因此他們對真空系統(tǒng)的要求也會更高。

06.壽命
壽命即為燈絲的正常使用時間，由于鎢燈絲的壽命只有 50-100h，因此使用鎢燈絲作為電子源的電鏡需要經(jīng)常更換燈絲，而使用六硼化鑭和六硼化鈰燈絲的電鏡則不需要。

綜上可知，使用六硼化鈰 (CeB6) 燈絲的飛納臺式掃描電鏡其電鏡圖像分辨率和信噪比都較使用普通鎢燈絲的臺式電鏡要更好，且燈絲壽命更長，不需要頻繁更換燈絲。飛納臺式電鏡之所以能在所有臺式電鏡中*使用高性能的六硼化鈰 (CeB6) 燈絲，還是得益于其的三倉分離真空技術(shù)，能在臺式電鏡狹小的空間中為燈絲提供高的真空度 (10-5Pa) ，并且在更換樣品時不影響燈絲倉的真空度。飛納鏡傳承于 FEI 的低真空環(huán)掃技術(shù)保證了飛納臺式電鏡可以地利用六硼化鈰這一優(yōu)異性能的燈絲，而其他的臺式掃描電鏡生產(chǎn)廠家是做不到的，這也是飛納臺式電鏡近幾年的異軍突起的原因之一。