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掃描電鏡主要用于微觀形貌分析,其測試結(jié)果的好壞,一方面是由儀器的性能、測試條件和操作人員水平?jīng)Q定,另一方面還與樣品制備過程有關。
SEM樣品需要保持清潔、無污染物,盡量把污染程度降到低。因此要求我們在拿取與制備樣品時需要佩戴干凈無粉手套,使用的剪刀、鑷子等制樣工具亦要保持干凈。
保持 SEM 制樣工具干凈
如果在樣品制備過程中,不注意保持清潔,用裸手拿取樣品,手上的油脂灰塵會污染樣品。如下圖所示,裸手接觸干凈鋁箔表面后,可以觀察到明顯的污染物。通過能譜面掃分析,發(fā)現(xiàn)污染顆粒主要成分為碳和氧,由此推斷該污染物主要為油脂。
干凈鋁箔表面 裸手觸摸過的鋁箔表面
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表面污染物能譜面掃結(jié)果分析
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